一种投影物镜测试台的设计

作者：宋兴龙

来源：集成电路应用, 2023, 40(04): 300-302.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.04.134

• 投影物镜
• 测试台
• 便利性设计
• 集成流程

阐述投影物镜测试台用于对投影物镜性能和接口进行测试验证，投影物镜测试台作为一种测量工具，其自身精度，操作便利性，维护性与最终物镜的交付质量也有着密切关系。探讨对测试台部分结构、投影物镜集成流程的优化设计，从而提高了测试台的使用效率。