ZrN系硬质膜的研究进程与展望

作者：杨晨; 张钧^*; 孙宇菲; 彭立静

来源：材料保护, 2019, 52(10): 134-139.

DOI：10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2019.10.025

• ZrN系硬质薄膜
• 硬度
• 耐磨性
• 抗氧化性
• 耐腐蚀性

以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系。从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出了比较和评述。在此基础上,提出了ZrN系硬质薄膜今后的研究和应用发展方向。

• 单位
  沈阳大学