针对用于微电子元器件性能仿真的纳米尺度模型含有大量原子,直接对其进行编辑较为复杂的问题,在总结原子模型几何特征的基础上,提出一种新的建模方法.该方法预先将各种材料和不同材料间的界面设计成预制结构;在建模时,用户只需创建若干基本的图元,再选择各图元相应材料并将它们组合成一个复合图元;依据复合图元的材料信息选择合适的界面预制结构,最终生成设计器件的原子模型.用户调查结果表明,与现有建模方法比较,文中建模方法更为简便和高效.
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