基于毛纽扣垂直互连结构的高低温仿真分析

作者：柳明辉

来源：电子工艺技术, 2021, 42(06): 324-327.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.06.004

• 毛纽扣
• 垂直互连
• 对位偏差
• 仿真分析

基于毛纽扣垂直互连结构的特点,利用仿真软件对该结构进行建模仿真,分析在高低温情况下产生的形变量。形变量导致了相对位移,从而产生对位偏差。基于形变量产生的对位偏差,对毛纽扣垂直互连结构进行射频仿真,分析对其射频传输性能的影响。通过影响、对比分析,完成了结构优化。最后试制了样件,对其结构进行了高低温验证。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十九研究所