扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养

作者：孙秋香; 卢慧粉; 宋庆军; 宋鹏

来源：理化检验.物理分册, 2021, 57(02): 54-56.

• 扫描电镜
• 辅助设备
• 故障分析
• 维护保养

介绍了扫描电镜系统的各辅助设备常见的故障及解决办法。检验管理人员做好各辅助设备的维护保养,了解各设备的故障点,能够快速、低成本地解决故障问题,有效保障测试工作的正常进行。