一种两层不同结构的复合氧化镍薄膜的制备方法

作者：张勇; 张盼; 吴玉程; 张雪茹; 舒霞; 王岩; 崔接武; 秦永强

来源：2021-12-23, 中国, ZL202111586577.1.

本发明公开了一种两层不同结构的复合氧化镍薄膜的制备方法,包括以下步骤：将FTO玻璃片进行清洗烘干；采用直流磁控溅射的方法,将清洗之后的FTO玻璃片进行磁控溅射,在FTO玻璃片导电面处获得一层磁控溅射的氧化镍薄膜；将镍盐和对苯二甲酸加入烧杯中,再加入N、N-二甲基甲酰胺,搅拌后再加入去离子水继续搅拌,得到前驱体溶液,将前驱体转移到反应釜中,再将磁控溅射之后的FTO玻璃片竖直放入反应釜中,水热反应后洗涤膜层表面,去除残留杂质,烘干得到NiO@Ni-MOF复合膜；样品放置在管式炉中,将炉子升温,保温后降温即得所述复合氧化镍薄膜。本发明制备的复合氧化镍薄膜具有优异的光调制特性和储能特性。