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摘要
动态流导法是目前最为可行且广泛应用的超高真空校准方法之一。微气体流量经管道入口进入校准室,产生的束流效应将影响校准室气体分布的均匀性,使校准室赤道位置处被校规所测压强与计算值产生偏差,增大了校准的不确定度。在气体入口处设置散流板或在出口处设置限流小孔均可减小束流效应的影响,提高校准精度。本文建立了校准室的几何模型结构,基于MOLFLOW 仿真软件模拟计算得到无散流板和不同形状散流板校准室内气体压强分布及变化规律,分析了束流效应的影响并对被校规压强测量值进行修正。设计不同形状和位置的散流板结构,仿真计算比较其散流效果,确定最佳锥形散流结构。针对锥形散流板,优化其锥角、尺寸等结构参数,提高散流效果...
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