准分子激光刻蚀聚碳酸酯材料研究

作者：赵泽宇; 侯德胜; 董小春; 杜春雷

来源：光电工程, 2004, (02): 4-7.

• 准分子光刻
• 聚碳酸酯
• 激光烧蚀 Excimer lithography
• Polycarbonate
• Laser ablation

准分子激光刻蚀聚合物一般认为是由于聚合物材料吸收光子能量而升温,同时分子链上的 化学键也会因吸收光子能量而断裂。本文在讨论分析了准分子激光烧蚀聚合物机理的基础上,通过对不同能量密度情况下得到的不同烧蚀深度的实验结果进行分析计算,得出聚碳酸酯(PC)材料对波长248nm激光的吸收系数为4.17×104cm-1,能量阈值为49.8 mJ/cm2。

• 单位
  微细加工光学技术国家重点实验室; 中国科学院光电技术研究所