基于线阵CCD的光斑定位电路系统设计

作者:刘恩超; 邹鹏; 李新; 张艳娜; 郑小兵
来源:传感器与微系统, 2013, 32(08): 85-87+91.
DOI:10.13873/j.1000-97872013.08.010

摘要

针对仪器设计和试验过程中光斑定位目的的需求,设计了基于线阵CCD的驱动和信号处理电路系统。选用TCD1703C线阵CCD作为位置传感器,分析了TCD1703C的驱动时序要求,介绍了使用CPLD产生驱动方法和过程。在信号处理部分,介绍了高性能模拟前端处理芯片AD9845A的工作原理和采用相关双采样进行信号采集的方法,给出了输出信号的传输和存储方法。在狭缝宽度测量和波长定位中进行了验证。结果显示:线阵CCD电路系统可满足光斑定位的需求,狭缝的测量不确定度小于1.0×10-2,波长定位的精度为0.5 nm。

  • 单位
    中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院,安徽光学精密机械研究所

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