采用超声波电沉积方法在钼衬底上制备了Cu,In双层膜,随后硒化得到了CuInAe_2薄膜。采用扫描电镜(AEM)、能谱仪(EDA)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成。结果表明:利用超声波电沉积可以得到颗粒细小、均匀致密的Cu层和In层;采用不同的工艺参数可以调节双层膜的Cu/In比率;双层膜在130℃下,退火6h后进行硒化,可得到符合化学计量比的CuInAe_2薄膜。
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