半导体缺陷监控的一种智能取样派工方案

作者：陈彧

来源：自动化与仪表, 2019, 34(02): 24-26.

DOI：10.19557/j.cnki.1001-9944.2019.02.006

• 缺陷监控
• 取样率
• 优先级

缺陷监控是半导体制造中考量产品表现以及工艺风险的关键一环,随着工厂产量的不断增长,机台的不断增多,对于快速侦测出问题机台,并及时采取措施变得越来越重要。该文提出了一种针对缺陷监控的智能取样派工方案,它通过四个模块实现对监控取样率的自动实时调整,实现对晶圆优先级的合理排序,同时对缺陷结果的分析来优化扫描方法,并能及时调整机台派工排货比例。这种智能方案通过不断自动调节能够更快速的侦测到工艺的异常,提升缺陷监控效率,从而更有效的改善工艺表现。