基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器

作者：郑富中; 吴英; 张杰; 杨兴

来源：传感技术学报, 2019, 32(07): 1009-1015.

• 柔性传感器
• 单壁碳纳米管
• 介电电泳
• 区域选择性电沉积Au

一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限。首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列有序的平行电极对;然后通过交流介电电泳的方法在微电极对间实现单壁碳纳米管SWNTs(Single-Walled Carbon Nanotubes)一维定向排布;接着采用区域选择性电沉积技术定域沉积Au压覆SWNTs,改善SWNTs与电极的接触特性。最后,针对基于SWNTs的柔性微纳传感器进行了力电特性测试。结果表明:在环境温度为(23±5)℃,湿度为65±15%RH,0.1 V工作电压下,压阻因子约为443,精度约为5.16%。上述研究结果在柔性微纳器件的制作方面显示了一定的应用前景,为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路。

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 清华大学; 四川轻化工大学; 重庆科技学院