NaxMg0.2Zn0.8-xO纳米薄膜的光学性能

作者：张舒婷; 端木庆铎^*; 王浚宇

来源：微纳电子技术, 2019, 56(08): 612-616.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2019.08.003

• NaxMg0.2Zn0.8-xO
• 纳米薄膜
• 光学性能
• 溶胶-凝胶法
• 微观结构

采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上以二水乙酸锌(C4H6O4Zn·2H2O)、乙酸镁(C4H14-MgO8)、氯化钠(NaCl)为前驱体制备NaxMg0.2Zn0.8-xO纳米薄膜,借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、喇曼光谱及光致发光谱(PL)等手段,对NaxMg0.2Zn0.8-xO薄膜的晶格结构、表面形貌及光学性能进行表征及分析,研究了Na+不同掺杂浓度对NaxMg0.2-Zn0.8-xO薄膜的结构及光学性能的影响。研究结果表明,所有样品均为六方纤锌矿结构;Na+的掺入弥补了MgZnO薄膜本身存在的晶格缺陷,颗粒分布均匀且紧密,晶粒尺寸增大;当x在0～0.04内,x为0.02时,Na0.02Mg0.2Zn0.78O薄膜的结晶性能更加优秀,且缺陷减少,光致发光性能达到最佳。

• 单位
  长春理工大学