集成非对称F-P腔的GaSe基日盲紫外光电探测器

作者:吴春艳; 梁利彦; 高金绪龙; 江晓运; 胡继刚; 罗林保
来源:2023-04-18, 中国, ZL202310412298.6.

摘要

本发明公开了集成非对称F-P腔的GaSe基日盲紫外光电探测器,是将GaSe二维薄片转移至共振波长位于日盲紫外波段的金属/介质层非对称F-P腔上方,利用腔共振增强GaSe在日盲紫外波段的吸收,从而提高GaSe基光电探测器的响应度、日盲紫外/可见抑制比,实现高性能的日盲紫外光电探测。本发明利用窄禁带半导体材料实现日盲紫外光电探测,制备工艺简单,为日盲紫外光电探测提供了一个新的思路。