双弹光级联的差频调制型应力双折射测量研究

作者：李克武; 王爽; 刘梓良; 王志斌

来源：光学学报, 2022, 1-16.

• 应用光学1
• 弹光调制2
• 应力双折射3
• 延迟量4

针对光学材料、光学元件的快速、高精度应力测试评估需求，本文提出了一种基于双弹光级联差频调制的应力双折射测量方案。应力双折射延迟量和快轴方位角信息被加载到差频弹光调制信号中，运用数字锁相技术同时提取弹光调制的差频信号和基频信号，进一步求解出应力双折射延迟量和快轴方位角。对该新方案原理进行了分析，并搭建了实验系统，对系统初始偏移值进行了实验定标；采用索利尔巴比涅补偿器完成了测量精度和重复性测试，并完成了施加应力样品的应力双折射测试。实验结果表明，该系统延迟量测量精度为2.3%，延迟量测量重复性为0.032nm，双折射测量重复性为0.17nm/cm。此外，单数据点测量时间不超过200ms。本文方案具有测量精度高、重复度高、测量速率快等应用优势。

• 单位
  中北大学