10μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展

作者：祁娇娇; 冯晓宇; 陈彦冠; 宁提; 刘世光; 孙浩; 康键

来源：红外, 2022, 43(02): 1-6.

• 小间距
• 1280×1024
• 长波
• 碲镉汞

随着红外技术的进步，红外探测器组件向着更小尺寸、更高分辨率的方向发展。小像元间距、大面阵规格是长波探测器发展的重要方向。通过对10μm像元间距、9μm截止波长、1280×1024阵列规格长波探测器的研究，突破了10μm间距长波像元成结技术、10μm像元间距铟柱制备及互连技术，制备了有效像元率大于等于99.4%、非均匀性小于等于4%的10μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器芯片。

• 单位
  华北光电技术研究所