罗茨真空泵特性指标及测试方法研究

作者：翁建武; 周君斐; 罗根松; 尹珊珊

来源：真空, 2015, 52(02): 7-11.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2015.02.02

• 罗茨泵
• 特性
• 测试方法

本文分析阐明了罗茨泵的特征性能为漏率、零流量压缩比、最大容许压差和噪声。提出了新概念—基础压力的定义:即泵按规定条件工作,在不引入气体的情况下,标准测试罩内趋向稳定的压力。并建议以漏率取代极限压力作为罗茨泵的性能考核指标,使罗茨泵性能的测量方法更接近、更符合实际运行状态。根据实验数据,提出了对零流量压缩比测量装置中的前级管路规定的改进,对最大容许压差测量方法提出了修改以及对噪声的测量方法提出一些新的见解。