一种可移动真空室分扇区内壁局部顶弯矫正机构

作者：翟华; 孙晓彤; 吴玉程; 朱晓勇

来源：2020-01-08, 中国, ZL202010019634.7.

本发明公开了一种可移动真空室分扇区内壁局部顶弯矫正机构,包括支撑底座、导轨、竖直固定系统、导向系统、定位系统、驱动系统和液压系统,所述支撑底座固定设置在真空室分扇区内壁上；所述轨道固定设置在支撑底座上；所述导向系统包括底板和转向体,所述转向体可转动的安装在底板的底面前后端,转向体可活动的设置在轨道上；所述竖直固定系统设置在导向系统的转向体上,用以将导向系统限制在轨道上；所述定位系统设置在导向系统一侧的转向体上,可将导向系统固定在轨道上,本发明结构紧凑,可以快速、准确的矫正真空室分扇区内壁。

• 单位
  合肥工业大学