为了更好地研究嵌入式系统硬件可靠性,提出一种针对嵌入式系统硬件的马尔科夫模型分析方法。首先分析了嵌入式系统各模块的失效形式和故障类别,并根据故障类别将系统定义为不同工作状态;其次,根据状态转移关系建立状态转移矩阵,并求解计算马尔科夫状态转移方程,得到系统可靠度随时间的变化关系;最后,对嵌入式系统硬件局部可靠性作了敏感性分析。仿真结果表明,马尔科夫链模型能较为准确地描述硬件失效过程和预测某型喷漆系统硬件的可靠度,此外,提高电源可靠性有利于提升整个嵌入式硬件系统的可靠性。