基于Petri网与多代理的半导体调度系统建模及仿真

作者：何睿超; 徐骏善; 汪惠芬

来源：机械设计与制造工程, 2021, 50(11): 13-19.

• 可重入生产系统
• Petri网
• 多代理系统
• 调度系统
• CPN Tools

为解决半导体生产系统作业调度问题,提出了一种基于层次赋时着色Petri网(HTCPN)与多代理系统(MAS)的调度系统建模与仿真方法。以半导体"图案成型"生产系统为对象,分析该系统调度问题的约束条件和多目标函数,设计MAS的组织结构和基于招标-投标策略的调度机制,结合HTCPN建模方法建立调度系统模型,最后采用仿真软件CPN Tools验证了该调度系统的可行性和有效性。

• 单位
  南京理工大学