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摘要
本发明涉及一种基于ANSYS设计仿真结果进行温补晶振的应力补偿膜设计方法,其特征是：至少包括三个步骤：依据压电耦合有限元方程和动力学方程构建AT切温度补偿晶体谐振器的ANSYS三维实体仿真模型；通过ANSYS仿真分别得到2个不同镀膜方案对应的晶体应力分布云图,相同温度作用下施加在晶体片x轴方向上的应力越大则温-频特性曲线的补偿效果越明显,得到最佳镀膜补偿方案。它提供了一种能避免根据人工经验调整补偿薄膜形状和位置所产生的误差,并且能解决实际加工成本,可操作性强,对高稳定度温补晶振的设计、开发具有现实意义的一种AT切温补晶振的应力补偿膜设计方法。
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