微尺度单晶碎屑θ单动XRD分析

作者：杨雨灵; 王栋; 刘建鹏; 张森; 兰勇; 戴穗安; 李修建

来源：大学物理实验, 2015, 28(04): 10-12.

DOI：10.14139/j.cnki.cn22-1228.2015.004.004

• 硅单晶碎屑
• XRD
• SEM

对研磨不充分的硅单晶碎屑进行θ单动XRD实验,得到无规的衍射图像。根据碎屑的SEM扫描图像和进一步模型分析,给实验结果定性解释:碎屑颗粒较大且大小不均匀导致的微取向不均匀,使得衍射强度随θ角度变化剧烈。

• 单位
  第三军医大学; 国防科技大学