用于光学放大的掺铒氧化铝脊型波导研究

作者：邬健; 杨振; 魏腾秀; 张政; 王威; 刘瑞雪; 王荣平^*

来源：应用激光, 2023, 43(02): 127-133.

DOI：10.14128/j.cnki.al.20234302.127

• 氧化铝薄膜
• 射频溅射
• 紫外光刻
• 脊型波导
• 干法刻蚀

使用磁控溅射制备了掺铒氧化铝薄膜，对薄膜进行了退火处理，测量薄膜的折射率和X射线衍射图谱，发现薄膜在600℃的退火温度下呈非晶态，在1.5μm处的折射率为1.67左右。模拟模场分布，获得光与掺铒层之间相互作用最大的波导结构参数，并进一步优化制备条件，实现侧壁光滑的低损耗掺铒氧化铝脊型波导。在1.31μm的波长下，2μm宽度的氧化铝脊型波导的损耗为1.6 dB/cm,和使用超快激光灼烧的方法所制备出的损耗为3.8 dB/cm氧化铝脊型波导相比，损耗大为降低。结果表明，掺铒氧化铝波导在平面集成波导放大器应用方面极具潜力。

• 单位
  宁波大学