CCD光敏面上规则点阵的产生机理

作者：王彦斌^*; 张德锋; **风; 肖文健; 任广森

来源：光学精密工程, 2021, 29(06): 1242-1250.

• 激光辐照
• 规则点阵
• 可见光面阵CCD
• F数

采用1 064 nm激光辐照可见光面阵CCD时,在其光敏面上观察到了规则点阵,相邻格点的间距约为99.38μm。改变激光的入射参数发现,规则点阵的产生与激光的入射能量、束散角和入射角无关,而与激光的波长有关,532,632,670和780 nm激光辐照时均没有观察到规则点阵的出现。更换不同型号的CCD,像元尺寸由3.75μm增大为5.6μm,相邻格点的间距却由99.38μm减小为63.84μm。改变前置光学系统的F数、焦距和光路结构,相邻格点的间距均保持不变。通过采用高分辨率的折返镜头开展实验,发现点阵中的每个格点与CCD光敏面上的像元一一对应,并且实验测得的格点间距与衍射效应计算的格点间距最大偏差仅为1.18μm,证明了规则点阵是由于CCD光敏面的二维光栅衍射效应引起的。