恒撞击力轻敲模式AFM的设计及研究

作者：马俊锋; 杨甬英; 陈伟; 卓永模

来源：光电工程, 2004, (01): 40-42+58.

• 原子力显微镜
• 轻敲模式
• 振动测量
• 光探针

在轻敲模式AFM中,利用DMT模型与光探针点衍射理论结合来检测微探针的振动,并对振动信号进行频率域分析,通过检测和控制信号中高次谐波分量使针尖-样品间撞击力保持恒定。测试实验表明,该系统具有结构简单、可测不同材料的样品和对软质材料样品损伤小的优点,其测量重复性可达1%,分辩力可达1~5nm。

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室