nA级离子泵电流测量系统的设计

作者：张彦; 孙前刚

来源：真空电子技术, 2018, (04): 54-57.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.12

• 静电陀螺仪
• 离子泵
• STM32
• nA级电流

静电陀螺仪正常工作时,高真空度的维持是其重要的静态条件。本文从热阴极离子泵的工作原理出发,通过测量离子流的大小,来监测静电陀螺仪内部的真空度;提出了一种基于STM32的测量系统,包括两级放大调理电路、高精度ADC和STM32单片机,并就其nA级电流测量的软硬件电路设计作出了详细说明。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第723所