多晶硅还原炉电极防护装置的研究

作者：杨凡; 陈文凯; 张江涛; 马维庆

来源：山西冶金, 2022, 45(02): 119-151.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1167/tf.2022.02.045

• 多晶硅还原炉
• 电极
• 电极防护装置

基于国内多晶硅还原炉电极的现状，经过反复试验和研究，克服了现有技术的不足，提出一种将多晶硅还原炉内的电极防护起来的装置，该装置可有效避免电极不被大质量硅棒撞击损坏，同时可适当降低多晶硅生产成本。

• 单位
  陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司