本发明公开了多谐振模式的薄膜体声波谐振器,依次包括硅衬底和压电堆叠结构,所述压电堆叠结构与硅衬底之间的空腔形成薄膜体声波谐振器的谐振腔；所述压电堆叠结构由下至上依次包括底电极、两层以上的压电薄膜、顶电极。本发明的薄膜体声波谐振器,具有多个谐振点,可通过级联、桥接等方式设计出多通带滤波器,大大减少无线终端上的FBAR滤波器数量。
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