摘要
原子是物质世界中最基本的构成单元。原子制造通过精确操纵原子及功能基元来从最底层创造全新的物质、材料和器件,并构建具有革命性能的装备和系统。原子制造既是先进制造技术的极致化,也是量子理论的试验场,还是物质科学的未来技术,甚至未来态。文章以团簇束流、扫描隧道显微镜、原子级多层异质结以及其他单原子体系为例,介绍原子精准操控技术及其放大和集成,并探讨了原子制造在物质科学中的发展意义和未来前景。
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单位国家纳米科学中心; 固体微结构物理国家重点实验室