基于绝缘体上硅的一种改进的Mach-Zehnder声光调制器

作者：秦晨; 余辉; 叶乔波; 卫欢; 江晓清

来源：Acta Physica Sinica, 2015, (01): 238-244.

• 声光调制器
• 绝缘体上硅
• 声表面波
• COMSOL Multiphysics acousto-optic modulator
• silicon-on-insulator
• surface acoustic wave
• COMSOL Multiphysics

传统的基于绝缘体上硅的Mach-Zehnder(MZ)声光调制器中,叉指换能器位于两臂的同一侧.为实现高的调制效率,声表面波的波峰和波谷分别调制MZ干涉仪的两臂,这要求控制MZ干涉仪两臂之间的距离为奇数倍声波半波长.但实际上由于传播过程中衬底材料的变化,声波波长会变大,这会导致两臂的间距难以准确设置.另一方面,声波在传播过程中经过MZ干涉仪的一臂后会发生衰减,降低了对另一臂的调制效果,影响了整体的调制效率.本文针对这些问题给出了一种解决方案,把叉指换能器放在MZ波导两臂之间,确保MZ干涉仪两臂到叉指电极中心距离相等.采用有限元法,首先对新提出的结构进行分析,然后通过声光互作用原理得到了材料的折...

• 单位
  电子工程学院; 浙江大学