溶胶-凝胶法制备钡钕钛薄膜及其介电性能研究

作者：朱伟欣; 许绍俊; 张瑶; 杨成韬; 杨翼晞; 周冬

来源：压电与声光, 2015, 37(03): 477-479.

• 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法
• BNT薄膜
• 晶化温度
• 薄膜结构
• 介电性能

采用溶胶-凝胶法在Si(111)和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba4Nd9.33Ti18O54(BNT)介质薄膜,采用X线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同退火温度对薄膜结构和表面形貌的影响。结果表明当薄膜在950℃下退火2h后具有较好结晶质量的钨青铜结构,所得到的薄膜表面较为疏松;通过掺入质量分数为2%B2O3-2SiO2,可进一步将BNT薄膜的晶化温度降至900℃,且结构致密。介电性能测试表明,1 MHz频率下BNST薄膜的介电常数为45,介电损耗为1.1%,30V偏压下漏电流密度为4.13×10-6 A/cm2。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学