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摘要
Micro LED技术作为下一代显示技术的前沿研究领域，具备高亮度、高对比度和高能效等优势。回顾了Micro LED技术的发展历程，重点介绍了其技术难点以及当前的进展情况。技术难点包括外延结构设计、芯片制备中的尺寸效应、全彩化问题、Micro LED系统集成和可靠性研究。当前的进展涵盖了侧壁效应抑制、全彩化方案、巨量转移技术、氮化物红光技术、色转换技术、垂直堆叠技术、CMOS和TFT驱动、三维集成技术、透明显示以及纳米LED。最后展望了Micro LED技术的未来发展方向，包括解决技术难题、推动产业化进程和实现更广泛的应用。
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单位工业和信息化部; 西北工业大学
