非接触纳米三维表面形貌测量

作者：赛景波

来源：应用激光, 2004, (01): 48-50.

• 声光调制器
• 光电接收器
• 激光
• 光探针
• 纳米测量
• 数字鉴相 ultrasonic light modulator
• photoelectric receiver
• light stylus
• nano-meter measurement
• digit phase detect

提出了一种基于激光的Raman -Nath衍射和光干涉进行纳米级测量的光机电一体化的新方法 ,分析了数字鉴相、A/D变换和X/Y驱动的特点 ,并对测量精度进行了扼要地分析

• 单位
  北京联合大学