FeCl3蚀刻Cu的废液的再生研究

作者：杨俏; 敖思琦; 于洁; 周婉秋; 田鹏; 康艳红^*

来源：应用化工, 2019, 48(10): 2335-2349.

DOI：10.16581/j.cnki.issn1671-3206.2019.10.005

• FeCl3
• 蚀刻液
• 再生
• 氧化还原电位

用阴极除杂-阳极氧化三氯化铁蚀刻废液的电化学方法再生三氯化铁蚀刻铜的废液。结果表明,8 V为较合适的电解槽压,温度为25℃,极距为80 mm时ORP转化情况最好。由于电解实验中Fe2+的转化率比较低,因此对再生液的蚀刻能力进行研究,得出可循环使用次数最少为3次。总铜离子含量检测表明,再生一次后的溶液中的Cu2+去除率为68.5%。由于Cu2+去除率比较低,进而探究Cu2+含量对蚀刻能力的影响,表明当Cu2+浓度为0.119 g/mL是蚀刻能力的一个临界值,浓度升高溶液的蚀刻能力变低。因此实际应用中,以8 V电压25℃、80 mm极距可最大化的提高循环利用率,实现废液的再生利用。

• 单位
  沈阳师范大学; 化学化工学院