磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨

作者：陈英; 郭卫

来源：玻璃, 2018, 45(06): 42-45.

• 磁控溅射镀膜
• ZnO:Al(AZO)薄膜
• 工艺

讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀膜工艺及设备、靶材的选择、玻璃基板加热温度的选择、溅射气体的压力的选择等。

• 单位
  成都中光电科技有限公司