基于数字波面干涉的平面度测试方法

作者：钱征宇; 杨慧敏; 朱绯红

来源：计量技术, 2017, (07): 7-9.

• 波面干涉
• 三维面型
• 斐索干涉仪
• zernike函数
• 平晶平面度

本文介绍了一种基于数字波面干涉的平面度测试方法,该方法基于菲索干涉仪结构,通过数字CCD采集单帧干涉图像,运用zernike函数基于单帧图像拟合被测平面三维面型,以PV值综合评价整体平面度,区别于传统的等厚干涉仪与移相干涉测试方法。经验证此方法正确可行,测试数据准确可靠。

• 单位
  江苏省计量科学研究院