溅射靶材的种类、应用、制备及发展趋势

作者：陈建军; 杨庆山; 贺丰收

来源：湖南有色金属, 2006, (04): 38-41+76.

• 溅射
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• 种类
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随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求量越来越大。文章介绍了溅射靶材的种类、应用及制备情况。并对靶材的发展趋势作了探讨。

• 单位
  湖南稀土金属材料研究院