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溅射靶材的种类、应用、制备及发展趋势
作者:陈建军; 杨庆山; 贺丰收
来源:
湖南有色金属
, 2006, (04): 38-41+76.
溅射
靶材
种类
应用
制备
发展趋势 sputtering
target materials
kinds
application
manufacture
developing trend
摘要
随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求量越来越大。文章介绍了溅射靶材的种类、应用及制备情况。并对靶材的发展趋势作了探讨。
单位
湖南稀土金属材料研究院
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