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摘要
通过化学气相渗透技术，在中间相沥青基石墨泡沫内部沉积了碳化硅涂层；研究了不同沉积温度对碳化硅形貌、晶体结构和强度的影响。结果表明，1 223 K可以制备完整的碳化硅涂层，沉积速率较慢，晶粒尺寸较小；温度超过1 423 K,易在石墨表面沉积生成热解炭，比强度开始下降。低温沉积时，临界形核自由能下降，形成的核芯数目增加，有利于形成晶粒细小而连续的SiC涂层组织，1 273 K和1 373 K温度条件下沉积的SiC涂层较光滑平整，比强度较高。随着沉积温度提高，抗弯强度由1 223 K的1.8 MPa提高到1 473 K的5.4 MPa,比强度由1 273 K的3.40 MPa·cm3/g提高到1 373 K温度下的7.31 MPa·cm3/g。沉积温度超过1 423 K时，沉积的SiC晶粒粒径增加，热解炭比例升高，无定形碳比例增加，比强度有所下降。
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