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摘要
目的:为了研究双足压电直线电机的性能，建立定子系统动力学模型，制作双足压电直线电机样机。方法:首先，建立双足压电直线电机定子结构、定子系统二自由度横向振动系统和电机速度测试实验装置；其次，基于正交实验对双足压电直线电机速度性能进行极差和方差分析。结果:压电电机驱动足的振幅位移约为61μm,压电直线电机的性能能够满足电机动子驱动要求；正交试验分析表明双足压电直线电机的电压和频率都对速度有影响，且频率对电机速度的影响更为显著。结论:验证了该压电电机具有驱动位移大，速度反应快和工作稳定等特性。
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