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摘要
由于具有极低的噪声等效功率,超导转变边沿探测器(Transition Edge Sensor,TES)在近年来被广泛的应用于国际各个宇宙微波背景辐射(Cosmic Microwave Background,CMB)极化观测项目中。为保证探测器工作在性能最佳区间,探测器饱和功率值需根据观测地点气象条件及观测波段进行调整,而探测器梁架结构尺寸直接决定了饱和功率大小。因工艺差异等原因,不同加工方案下得到的梁架尺寸参数往往不能直接用于横向比对。在之前的观测项目中,一般先加工出一系列不同尺寸器件并逐一测量,然后通过拟合实测饱和功率与梁架尺寸的关系推测实际需要尺寸。为了与目标值匹配,往往需要多次加工迭代过程。本文使用边界限制的声子输运模型,成功整合了之前观测项目中的器件参数,对TES梁架尺寸进行预估。并按照预估值首次在国内制备了用于探测CMB极化信号的TES探测器芯片。测量表明其参数与目标值相差较小。该方法可以很好的对同类TES探测器尺寸进行估计,对之后TES探测器的设计有指导性意义。
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