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摘要
基于多波长波前检测技术的实际需要，设计了多波长激光干涉仪光学结构。结构基于菲索干涉原理，使用分光棱镜集成5个波长的激光光源。通过笼式系统减小了光学结构各部分的同轴误差，采用消色差镜头作为干涉系统的准直系统和成像系统，缩短了调整准直系统行程的同时，也减小了系统内部光学系统的色差。使用该光学结构对光学系统进行测量，采用转换多项式法计算的Zernike系数-波长曲线符合预测结果。多波长激光干涉仪光学结构提高了多波长透射波前的检测效率，有利于多波长透射波前检测技术的工程化和推广，并为新仪器的开发提供了借鉴。
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