非正交二维MEMS倾斜镜的研制

作者：庄须叶; 汪为民; 陶逢刚; 姚军; 高福华

来源：光学精密工程, 2011, (08): 1845-1851.

• 转轴非正交倾斜镜
• 二维倾斜镜
• 微机电系统(MEMS) non-perpendicular tilt mirror
• 2D tilt mirrors
• Micro-electro-mechanical System(MEMS)

为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜。倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜在两个非正交轴上的偏转变形。采用三层膜的结构设计,消除了上电极应力变形对镜面平整度的影响。通过在上电极加工微小突起,减小上下电极的重叠面积,避免了倾斜镜的吸合失效;另外,上、下电极仅在其边缘处重叠,确保了静电力的有效利用。研制的倾斜镜驱动电压低,在3.5 V的电压下可实现绕水平X轴0.16°、绕倾斜Y轴0.03°的偏转,Y轴与X轴成145.37°夹角。倾斜镜结构简单,可实现绕两个非正交转轴的偏转,空间适应性好,且有效避免了静电吸合...

• 单位
  四川大学; 微细加工光学技术国家重点实验室; 中国科学院光电技术研究所; 物理学院; 中国科学院研究生院