本文采用纯铁和碳含量不同的牌号钢作为抛光材料,对CVD金刚石膜进行了热化学抛光。分别采用SEM、Raman光谱和EDS对抛光前后的金刚石膜的微观结构、表面组织和产物进行了表征。结果表明:抛光材料的碳含量对金刚石膜的抛光具有重要影响,且金刚石膜的抛光率主要取决于抛光材料对金刚石石墨化的催化能力。
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