阵列基板及其制造方法

作者：金彰洙; 宁洪龙; 金俸均; 朴弘植; 金时烈; 郑敞午; 金湘甲; 尹在亨; 李禹根; 裴良浩; 尹弼相; 郑钟铉; 洪瑄英; 金己园; 李炳珍; 李永旭; 金钟仁; 金炳范; 徐南锡

来源：2009-06-03, 中国, CN200810173348.5.

一种阵列基板，其中栅极线包括形成在基部基板上的第一种子层和形 成在所述第一种子层上的第一金属层。第一绝缘层形成在所述基部基板 上。第二绝缘层形成在所述基部基板上。在这里，线沟槽沿与所述栅极线 相交叉的方向穿过所述第二绝缘层形成。数据线包括形成在所述线沟槽下 的第二种子层和形成在所述线沟槽中的第二金属层。像素电极形成在所述 基部基板的像素区域。因此，使用绝缘层来形成预定深度的沟槽，并且通 过电镀方法形成金属层，从而能够形成具有足够厚度的金属线。本发明还 提供了一种阵列基板制造方法。