柔度矩阵建模是进行全柔性机构分析的基础。针对3-PSS型柔性并联微操作机器人，首先基于坐标变换法计算机构单条支链柔度矩阵，并基于此建立机器人整体柔度矩阵模型。然后进行数值算例计算和Ansys有限元仿真分析，并将理论计算结果与有限元分析结果进行对比，验证了柔度矩阵建模的正确性。最后对柔性并联机器人进行了柔度性能分析，并得出了机构的结构参数对柔度的影响规律，分析结果对3-PSS型柔性并联机构的结构优化设计提供了依据。
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