溶胶-凝胶法制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构及光学特性

作者：刘莹; 阳生红; 张曰理; 包定华

来源：发光学报, 2008, (04): 718-722.

• MgxZn1-xO薄膜
• 溶胶-凝胶法
• XRD
• 光致发光 MgxZn1-xO films
• sol-gel method
• photoluminescence

用溶胶-凝胶法制备了一系列的MgxZn1-xO(0≤x≤0.3)薄膜,并用X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)研究了不同的退火温度和Mg的掺杂含量对MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性质的影响。研究表明:MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,并且具有沿c轴的择优取向;发现了中间热处理温度为350℃的MgxZn1-xO薄膜退火温度的转折点为700℃,低于这个温度时随退火温度的升高,(002)衍射峰强度增强且掺Mg的薄膜既有紫外光又有绿光发射;800℃退火时,薄膜的(002)衍射峰强度减小,出现了(100)和(101)衍射峰,且掺Mg的薄膜只有紫外发光峰。不同的掺杂浓度对于发光也有影响,低...

• 单位
  中山大学; 光电材料与技术国家重点实验室