一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法

作者：李建华; 陈迪; 张金娅; 刘景全; 朱军

来源：半导体学报, 2005, (5): 899-903.

DOI：10.3969/j.issn.1674-4926.2005.05.010

• SU-8去胶
• 电铸
• PDMS
• 金属模具
• 高深宽比微结构

提出了一种解决SU-8去胶难题的方法.该方法首先将SU-8微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具.通过该方法制备得到了深宽比达到10的金属模具,而且模具表面光滑,侧壁垂直.

• 单位
  薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学