摘要
应用组合技术,通过离子束溅射法制备了Zn-Al-Ti合金薄膜材料芯片(其中wAl∶wZn=55%∶45%(w,质量分数)),表征了热处理后薄膜的耐腐蚀性能,研究了Ti掺杂量对薄膜耐腐蚀性能的影响.在Ar+5%(φ,体积分数)H2混合气氛中,经200℃扩散1h,再经370℃热处理2h后可以得到高质量的合金薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对热处理后的典型样品进行相结构和形貌表征.使用电化学方法测试样品的耐腐蚀性能.结果表明,Ti适量掺杂样品的腐蚀速率明显下降,其中Ti掺杂量为6.0%(w)的Zn-Al-Ti合金薄膜(94.0%(w)Zn-Al,其中wAl∶wZn=55...
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单位中国科学院上海硅酸盐研究所; 中国科学院研究生院; 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室