基于硅模具的Zr基非晶合金微零件吸铸制备

作者：朱志靖; 易传云; 史铁林; 文驰; 廖广兰

来源：中国机械工程, 2015, 26(20): 2801-2805.

• 非晶合金
• 吸铸
• 硅模具
• 微零件

基于硅模具提出了一种吸铸成形Zr基非晶合金微零件的方法。采用真空氩弧熔化吸铸炉进行了非晶合金微零件吸铸成形实验,用红外热像仪测量了合金熔液温度,发现合金熔液在1116℃下能够完全复制宽3μm、深3μm的硅方形微槽结构且具有较好的表面形貌。随后分别采用带有多型腔和双层型腔的硅模具进行了吸铸成形实验,成功制备了模数为50μm的非晶合金微齿轮零件,微零件的硬度及弹性模量分别为6.49GPa和94.9GPa。实验结果表明,基于硅模具吸铸成形Zr基非晶合金是一种制备高精度、高表面质量、高性能微零件的有效方法。

• 单位
  数字制造装备与技术国家重点实验室; 华中科技大学