基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究

作者：曾义红; 舒琳; 邓森洋; 张万里; 彭斌

来源：压电与声光, 2015, 37(01): 17-23.

• YCa4O(BO3)3
• 声表面波
• 高温谐振器

该文研究了在新型压电材料YCa4O(BO3)3(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器。研究了2种不同切型X-90°、Z-90°YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能。研究表明,在600℃下器件的稳定性高,其谐振频率随着温度的升高呈线性降低。Z-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278.94 MHz和21.22kHz/℃;X-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230.53MHz和13.44kHz/℃。结果表明,Z-90°切型的YCOB的温度灵敏度较高。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学